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太阳能级多晶硅制程技术探讨

上传者: 2020-10-28 07:24:26上传 PDF文件 57.45KB 热度 4次
太阳能级多晶硅技术分为化学法与物理法两大类。化学法的多晶硅制程泛指硅在纯化过程中,需要转换成硅化合物的中间产物,再利用裂解或氧化还原反应,将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。
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