纳米测量技术与微型智能仪器
纳米测量技术指尺度为0.01nm~100nm的测量技术。在纳米技术中,纳米测量技术、纳米加工技术和纳米结构并列为纳米技术的三大研究主题。纳米测量技术的研究是纳米技术研究的重要组成部分。
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