集成电路中的集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度

摘 要: 集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选。本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准。文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定。 1 引 言 集成电路静电放电模拟器是利用阻容放电网络模拟人体放电, 实现对微电子元器件抗静电放电能力的分级。 集成电路静电放电模拟器在国内的应用非常普遍, 是微电子元器件可靠性筛选必不可少的设备。国内外相关标准在集成电路静电放电模拟器的参数要求有明确的规定, 对校准方法也有简要说明, 但对于校准的关键技术和测量不确定度的评定并