利用MEMS技术制作无线通信用RF元件 上传者:qq_75028 2020-10-28 06:39:27上传 PDF文件 351.93KB 热度 35次 最近几年利用微机电系统(MEMS;MicroElectroMechanicalSystem)技术,在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受... 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论