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利用MEMS技术制作无线通信用RF元件

上传者: 2020-10-28 06:39:27上传 PDF文件 351.93KB 热度 5次
最近几年利用微机电系统(MEMS;MicroElectroMechanicalSystem)技术,在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受...
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