采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

Name: 采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器
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Author: u949194896

上传者：u949194896 2020-10-28 06:04:55上传 PDF文件 540.85KB 热度 51次

本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺,以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。

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采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺,以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。

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