1. 首页
  2. 课程学习
  3. C++/C
  4. 采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

采用适合工艺技术制造硅MEMS振荡器

上传者: 2020-10-28 06:04:55上传 PDF文件 540.85KB 热度 15次
本文展示了一种适用于MEMS振荡器的制造工艺,以及一组可与传统的石英晶体技术相媲美的测量数据。
用户评论