基于单片机的静电探针自动测量系统设计

静电探针又称langrnuir探针,是一种用来进行等离子体参数测量的基本的诊断工具,通过静电探针的,I-V特性曲线可以计算出等离子体的电子温度、密度、空间电位和悬浮电位等重要参数。静电探针,I-V特性曲线如图1所示。目前,随着等离子体在对金属、微电子、聚合物改性,聚合、生物功能材料相容性处理,低温杀毒以及空间技术等诸多领域的广泛应用。开展静电探针自动测量技术的研究开发工作,对提高等离子体应用研究工作的效率具有一定的促进作用。本文介绍的自动测量系统是以单片机为核心,采用A/D和D/A技术,能够快速、准确地给出静电探针I-V特性曲线。