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Kelvin四线连接电阻测试技术及应用

上传者: 2020-10-28 04:50:24上传 PDF文件 179.89KB 热度 14次
在半导体工艺中许多器件的重要参数和性能都与薄层电阻有关,为提高厚、薄膜集成电路和片式电阻的生产精度,需要使用设备仪器如探针台、激光调阻机对其进行测试或修调。
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