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基于EPM7128的光栅位移测量仪设计

上传者: 2020-10-28 04:13:36上传 PDF文件 79.58KB 热度 18次
将光源、两块长光栅(指示光栅和标尺光栅)、光电检测器件等组合在一起构成的光栅传感器通常称为光栅尺。当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,在条纹移动的方向上放置光电探测器,可将光信号转换为电信号,这样就可以实现位移信号到电信号的转换。目前使用的光栅尺的输出信号主要有2类:一类是相位角相差90°的2路方波信号,另一类是相位依次相差90°的4路正弦信号。
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