基础电子中的集成电路失效分析的技术和方法

摘要:集成电路的应用十分广泛,随着集成电路向着更小工艺尺寸,更高集成度方向发展,集成电路失效分析扮演着越来越重要的角色。一块芯片上集成的器件可达几千万,要想找到失效器件实属大海捞针,因此进行集成电路失效分析必须具备先进、准确的技术和设备,并由具有专业知识的半导体分析人员开展分析工作。 0 引言 失效分析就是判断失效的模式,查找失效原因,弄清失效机理,并且预防类似失效情况再次发生。集成电路失效分析在提高集成电路的可靠性方面有着至关重要的作用,对集成电路进行失效分析可以促进企业纠正设计、实验和生产过程中的问题,实施控制和改进措施,防止和减少同样的失效模式和失效机理重复出现,预防同类失效