电容式边缘传感器的设计 上传者:fushaobo98102 2020-10-28 03:02:55上传 PDF文件 293.25KB 热度 28次 电容测微方法能够检测到微小的位移变化,在此利用电容测微法设计制作电容式边缘传感器,该传感器可以用来检测拼接在一起或者相互平行的两平板之间的位置变化。给出了电容式边缘传感器的设计原理,传感器的主要结构以及设计过程中遇到的问题和解决方案。并在实验室进行了验证,给出了实验结果。实验结果换算到位移变化达到了检测到小于5 nm的位置变化的科研目标。该传感器可以广泛应用于拼接望远镜,法珀等天文仪器控制领域和其他工业控制领域。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 fushaobo98102 资源:453 粉丝:0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台,下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容!联系邮箱:server@dude6.com