统一频率与电容测量的石英晶体静电容方法

石英晶体谐振器(以下简称为石英晶体)作为一种性能优良的频率基准和时钟源在电子领域有着广泛应用。石英晶体的中间测试在石英晶体的生产中是处于微调和封装之间的工序,要求对石英晶体的基本电参数进行测量,以保证产品最终质量。在石英晶体的中间测试中,需要测量串联谐振频率、串联谐振电阻、负载谐振频率、负载谐振电阻、静电容、动电容、频率牵引灵敏度和DLD等参数。其中,静电容C0主要由石英晶体两端所镀银膜决定,表征了石英晶体的静态特性,与石英晶体的串联谐振频率和负载谐振频率等应用指标密切相关。根据静电容和其它参数的关系,还可以计算出负载谐振电阻、动电容、频率牵引灵敏度和DLD等参数的值,这在实际测量中是经常采用