三甲基铝TMAL蒸气压力公式 上传者：wxw3289 2020-10-28 02:28:51上传 DOC文件 62KB 热度 27次 三甲基铝TMAL 在液态时呈二聚体状态,即Al2(CH3)6,在气相时二聚体和单体互相转换。 主要用于MOCVD工艺制备AlGaAs,AlGaInP光电子器件中。 它是应用最广的铝源,三甲基铝有最高的蒸气压。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
