微阵列加速度传感器的设计理论

随着集成电路平面加工工艺技术日趋成熟,微加工中的三维加工工艺不断地发展,使微传感器、微马达、微泵等制造已成为现实。文献[1]曾提出了传感阵列的布阵设计问题,但未展开研究。本文在文献[2~4]的研究基础上系统、综合地研究了微阵列式加速度传感器,根据理论研究和实验分析,应按加速度值的大小进行微阵列式加速度传感器的研制。