单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

本文介绍的单片集成电容式压力传感器,传感器电容结构由多晶硅/栅氧/n阱硅构成,并通过体硅腐蚀和阳极键合等后处理工艺完成了电容结构的释放和腔的真空密封。接口电路基于电容一频率转化电路,该电路结构简单,并通过“差频”,消除了温漂和工艺波动的影响,具有较高的精度。 此内容为AET网站原创,未经授权禁止转载。