传感器技术未来发展方向及战略目标解读

Name: 传感器技术未来发展方向及战略目标解读
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Author: ecogd

上传者：ecogd 2020-08-31 19:36:46上传 PDF文件 49.22KB 热度 44次

MEMS工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺;封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺.

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传感器技术未来发展方向及战略目标解读

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