天线效应的产生机理及消除方法 上传者：qq_63055 2020-08-30 03:43:56上传 PDF文件 64.23KB 热度 45次 随着工艺技术的发展,栅的尺寸越来越小,金属的层数越来越多,发生天线效应的可能性就越大。而天线效应则会对小型技术领域产生非常大的影响,因为泄电所带来的损害很可能波及整个栅极。因此,本文对天线效应的产生机理及消除天线效应的方法做出了讨论。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
