KLARF文件格式说明.docx

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Author: 一抹惜鱼

上传者：一抹惜鱼 2020-08-29 19:28:42上传 DOCX文件 24.87KB 热度 947次

KLARF文件格式说明,适用于半导体行业,在很多工艺流程中通用的保存结果的文本格式。可用于读取Klarf文件,解析结果中的WaferID, LotID,坐标信息等内容

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