1. 首页
  2. 数据库
  3. 其它
  4. KLARF文件格式 说明.docx

KLARF文件格式 说明.docx

上传者: 2020-08-29 19:28:42上传 DOCX文件 24.87KB 热度 925次
KLARF文件格式 说明,适用于半导体行业,在很多工艺流程中通用的保存结果的文本格式。可用于读取Klarf文件,解析结果中的WaferID, LotID,坐标信息等内容
下载地址
用户评论