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氮化铌制造参数对沉积膜性质的影响

上传者: 2020-08-23 02:25:44上传 DOCX文件 405.86KB 热度 17次
应用于cf磁控溅射法沉积NbN薄膜的制造参数对其结晶、微观结构和表面组成影响的研究
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