国内射频电源要想跟上国际脚步还要深耕 上传者：梦旅人x 2020-08-21 14:29:06上传 PDF文件 37.12KB 热度 30次 目前国内先进的等离子体设备使用的射频电源,其主要技术性能(如输出功率、频率,阻抗匹配网络等)已和国外同类电源基本一致,但在自动化程度上,体积上以及应用领域方面还有一定的差距。因此,要跟上国际水平,还要开展以下一些工作。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
