厂务监控管理方案.pptx 上传者：kenvil 2020-08-21 05:20:58上传 PPTX文件 3.59MB 热度 39次 FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的缩写,其中文为厂务监控系统简称,它是针对目前半导体厂内制程所使用的监控系统, 用途是将厂区内特定的,有危害的,影响制程状态或系统资料进行监控。并将其记录,以供问题即时处理及日后问题分析 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
