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光催化辅助抛光单晶硅的抛光液研制

上传者: 2020-08-20 08:18:34上传 PDF文件 289.95KB 热度 15次
光催化辅助抛光单晶硅的抛光液研制,苑泽伟,杜海洋,:随着电子信息技术高速发展,集成电路等电子元件大量应用,如何高效获取超平坦晶圆已成为当前的主要研究方向。为实现硅晶圆全局
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