一种用于三阶压电驱动纳米定位平台的正速度 位置阻尼控制器设计
一种用于三阶压电驱动纳米定位平台的正速度-位置阻尼控制器设计 ,李琳琳,朱利民,本文以压电驱动纳米定位平台为研究对象,建立了一种基于正速度-位置反馈的阻尼控制器设计,从而实现压电驱动纳米定位平台的高带�
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