1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. The study on hemo compatibility of hydrophilic and hydrophobic SiCOH plasma coat

The study on hemo compatibility of hydrophilic and hydrophobic SiCOH plasma coat

上传者: 2020-08-10 12:10:29上传 PDF文件 671KB 热度 8次
等离子体沉积亲/疏水性SiCOH膜层血液相容性研究,王贵学,张勤,采用低温等离子沉积技术在Si片表面沉积SiCOH膜层,等离子体反应单体为三甲基硅烷(trimethylchlorosilane,TMS)和氧气。通过控制TMS与O2的流
下载地址
用户评论