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电磁驱动柔性振动膜无阀微泵

上传者: 2020-08-09 19:13:52上传 PDF文件 590.46KB 热度 11次
电磁驱动柔性振动膜无阀微泵,苏宇锋,陈文元,本文主要讨论了一种新型电磁驱动微泵的设计和制作工艺。该微泵结构简单,由驱动线圈、硅橡胶振动膜和无阀泵泵体组成,采用硅加工
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