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MEMS的发展现状和介绍.pdf

上传者: 2020-08-09 08:17:16上传 PDF文件 557.43KB 热度 13次
MEMS固体波动陀螺仪采用特有的中心轴对 称的敏感结构,使其具备全 角测量能力,即直接 测量输入角度。相比于传统的角速度测量方式, 角度信 息需要通过对角速度信号进行积分求得, MEMS固体波动陀螺仪直接测量输 入角度
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