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MEMS谐振式陀螺的模态分析

上传者: 2020-08-08 21:07:39上传 PDF文件 374.36KB 热度 14次
MEMS谐振式陀螺的模态分析,徐晓强,,本文基于MEMS谐振式陀螺仪的结构和工作原理,用ANSYS软件进行了模态的有限元分析。文中首先介绍了模态分析的基本理论基础,然后用ANS
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