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电致伸缩微位移器在机床刀具微进给系统的应用

上传者: 2020-08-06 03:01:41上传 PDF文件 380.41KB 热度 15次
随着电子技术、 宇航、 生物工程等学科的发展,对精密机械的精度要求越来越高,要求精密机械和检测设备具有亚微米甚至纳 米精度。使微位移技术得到迅速发展,主要介绍了电致伸缩微位移器的原理和应用。
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