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矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响

上传者: 2020-07-30 16:01:47上传 PDF文件 549.37KB 热度 26次
矩形衍射光栅的结构参数偏差对衍射场分布的影响,敬嘉雷,陆振刚,矩形衍射光栅的结构参数决定其衍射场分布,而实际光栅结构参数的加工误差将导致光栅的衍射场分布偏离预期。为了给矩形光栅结构参
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