论文研究 0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现 .pdf 上传者：houguof 2020-07-27 23:30:54上传 PDF文件 473.66KB 热度 23次 0.13微米CMOS逻辑器件的电容微缩实现，宋锴焱，成中敏，本篇文章主要研究了对0.13微米CMOS逻辑器件进行90%微缩后，电容层的微缩工艺的实现；在0.13微米平台的基础上对介电层的沉积厚度以及介 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
