多重曝光中的颜色优化注意事项.pdf

在先进工艺节点中，要实现最佳性能和良率，需要超越设计规则的最低要求来优化版图。任何多重曝光版图都有多种能通过多重曝光设计规则检查 (DRC) 的着色配置。但是，选择最佳着色方案可以提高制造良率和设计性能裕量。了解 Calibre Multi-Patterning 自动着色解决方案及其内置的分析功能如何大幅简化选择最佳着色方案的工作，无论版图如何复杂。