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利用硅浆料的硅片掺杂

上传者: 2020-07-25 23:10:44上传 PDF文件 341.11KB 热度 22次
利用硅浆料的硅片掺杂,高煜,皮孝东,本文介绍了一种基于硅浆料的硅片掺杂方法。用冷等离子体法制备出掺杂(硼或磷)的纳米硅颗粒,随后将其分散在有机溶剂中形成硅浆
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