论文研究 用于稳定纯度和减少气体输送系统中废物的受控混合方法

从低温储罐输送并通过长管输送的超高纯（UHP）气体中杂质协调作用的变化，是诸如半导体制造工厂所使用的系统中的主要问题。 开发了一种用于稳定纯度和减少这些系统中气体消耗的方法。 该技术使用了动态控制的混合气体，该混合气体由多个低温储罐提供。 该控制方案使用软件模块来模拟导致低温罐和运输管线中纯度变化的过程。 这些过程包括罐中的蒸发和供应，输送管中的各种运输方式以及表面上的吸附和解吸。 该方法还包括并校正由气体使用率以及环境条件的瞬变引起的变化。