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MEMS型可调外腔激光器的研究.pdf

上传者: 2020-07-25 03:20:42上传 PDF文件 216.33KB 热度 17次
提出了一种以MEMS TOF(微电子机械系统可调光滤波器)和标准具作为波长选择元件,LC(液晶)作为相位补偿元件,平面反射镜提供光反馈
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