静电微泵致动特性及其尺寸效应分析 上传者：qq_75028 2020-07-24 04:18:55上传 PDF文件 484.15KB 热度 29次 静电微泵致动特性及其尺寸效应分析，刘迎伟，刘凯，分析静电吸合现象，给出吸合电压的计算公式，以圆形泵膜为例，研究吸合电压的尺寸效应及泵膜几何尺寸对吸合电压的影响，得到静电 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
