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双面接触式电容压力传感器的设计.pdf

上传者: 2020-07-24 03:24:56上传 PDF文件 628.42KB 热度 16次
双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理:当传感器的受压膜片(即梁)与基底距离很近
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