氢等离子体的特性诊断和分析 上传者：qq_59469 2020-07-22 18:48:03上传 PDF文件 374.45KB 热度 38次 氢等离子体的特性诊断和分析，杨春林，陈俊芳，在微波等离子化学气相沉积装置中，分析了反应室内等离子密度空间分布以及等离子密度与气压和功率的关系，以及适合金刚石薄膜沉积 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
