光栅尺原理 光學尺原理的探討

本專題在於探討光學尺Linear scaler(亦稱為線性編碼器Linear encoder)，目的為了解光學尺的原理及組裝，將微米（1μm）解析度的光學尺組裝在氣浮XYZ平台上作為三次元量測之用。 光學尺之主副尺是利用玻璃製透明板所構成，上刻有具有相當多等間隔之平行線，較長一片固定不動稱為主尺，另外一片則可移動稱為副尺。當光源經瞄準透鏡聚光後，再經副尺及主尺，而直射光偵測器，光偵測器如只一個，只能量測位移量，光偵測器如有二個，則可進行電路分割，並能察知位移為向左或向右，目前通常光偵測器都增為四至八個， 可以做信號分割處理以得到很精密的量測結果。四個光偵測器所接收到的光強度受副尺及主尺交錯時產