基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测 上传者：王飞 2020-07-22 08:43:56上传 PDF文件 655.31KB 热度 28次 基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测，陈位荣，贾振红，我们结合光刻和电化学腐蚀方法，成功在单晶硅衬底上制备出一个8*8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件，微阵列的每个阵列单元直 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
