基于波前分割法的接近式光刻掩膜版局部优化 上传者：w40555 2020-07-22 05:05:21上传 PDF文件 471.6KB 热度 41次 基于波前分割法的接近式光刻掩膜版局部优化，潘攀，李木军，针对接近式紫外光刻图形转移中的曝光形状失真问题，采用波前分割的方法对掩模图形上的波前进行区域划分，并利用光场相干叠加相互 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
