论文研究 大规模生产高效太阳能电池中加工金刚石线切割和黑硅晶圆的挑战

使用标准晶片蚀刻工艺化学对金刚石线切割晶片进行纹理化一直是太阳能电池制造行业的挑战。 这是由于金刚石线切割晶片的表面形态变化以及非晶硅含量的大量存在，这是在使用超薄金刚石线锯切多晶晶片期间从晶片制造工业引入的。 用于多晶晶片的工业标准制绒工艺不能提供均匀的蚀刻硅表面，因此需要添加剂化合物，该添加剂化合物在酸性蚀刻浴中的作用类似于表面活性剂，以提高金刚石线切割晶片的制绒质量。 另一方面，黑硅晶片需要完全不同的处理化学，并且通常使用金属催化剂辅助蚀刻技术或等离子体反应离子蚀刻技术对黑硅晶片进行纹理化。 在本文中，讨论了与使用金刚石线切割和黑硅晶片的电池加工步骤相关的各种挑战，以及使用这些晶片类型中