Si TiNx和TiNx Cu界面反应驱动力热力学分析 上传者：iamglair 2020-07-21 08:57:50上传 PDF文件 432.76KB 热度 6次 Si－TiNx和TiNx－Cu界面反应驱动力热力学分析，李长荣，李维君，在半导体硅片(Si)－扩散阻挡层(TiNx)－金属互连材料(Cu)构成的体系中，Si和TiNx之间和TiNx和Cu之间各构成一对扩散偶。本文将从热力学的角� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 iamglair 资源：461 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
