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Carrier Conduction in Heterojunction of n type Hydrogenated Nanocrystalline Sili

上传者: 2020-07-20 23:34:53上传 PDF文件 358.2KB 热度 13次
(n)纳米硅/(p)单晶硅异质结中的载流子传导,韦文生,王天民,n型氢化纳米硅/p型单晶硅异质结作为一种非常有潜力的硅异质结构微电子器件,吸引了人们广泛的关注。本工作中,把掺磷的纳米硅薄膜
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