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集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工过程研究

上传者: 2020-07-20 19:12:39上传 PDF文件 288KB 热度 10次
集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工过程研究,李敏,阎秋生,采用集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工方法对单晶硅和SrTiO3陶瓷基片进行研抛加工,并研究了磁场强度大小、加工时间、研抛盘转
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