论文研究 外延和织构铁电BaTiO的比较

研究了通过射频磁控溅射在不同衬底上沉积的BaTiO3（BTO）薄膜的性能。 选择两个代表性的衬底，并研究了不同的异质结构。 1）SrTiO3（STO）单晶作为体氧化物参考材料，2）硅作为半导体。 SrRuO3（SRO）和Pt底部电极沉积在硅基板上。 BTO的结构表征表明，所有膜均具有（001）晶体学取向。 我们已经比较了不同样品的电性能：获得了相同的介电常数和极化值，而与衬底的性质无关。