InP:Fe基片上的高可靠40Gb/s电吸收调制器

电吸收（EA）调制器广泛地用于光纤通信系统中。使用EA调制器和EA调制器集成分布反馈式激光器(EAM-LD)的10Gb/s光通信系统已进入实用阶段[1]。要满足提高传输容量的强烈需求，就需要能用于40Gb/s光纤通信系统的高速调制器[2-5]。EA调制器的调制速度主要受其电容的限制，因此，调制器或EA调制器的电极板下常用低电介质常数的材料，如聚酰亚胺，而且这种板是在半绝缘基片上做成的。