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硅烷流化床气体分布装置.pdf

上传者: 2020-07-20 03:01:16上传 PDF文件 506.23KB 热度 13次
本实用新型提供了一种硅烷流化床气体分布装置,包括:气体分布板,所述气体分布板上设有进气口;半管式风帽,设置在所述进气口上
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