A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf

Name: A1薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用.pdf
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Author: qq_31102354

上传者：qq_31102354 2020-07-19 20:14:52上传 PDF文件 564.31KB 热度 30次

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料. 材料沉积速率随硅烷

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