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AlTiSiN/CrSiN 涂层的结构与性能研究

上传者: 2020-07-19 17:37:31上传 PDF文件 713.55KB 热度 15次
AlTiSiN/CrSiN 涂层的结构与性能研究,杨兵,万强,系统研究了硅烷对AlTiSiN/CrSiN涂层结构和性能的影响。研究结果表明涂层为B1 NaCl 型结构,其中AlTiSiN和CrSiN形成交替层。随硅烷流量的增加
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