AlTiSiN/CrSiN 涂层的结构与性能研究 上传者：渊冥 2020-07-19 17:37:31上传 PDF文件 713.55KB 热度 32次 AlTiSiN/CrSiN 涂层的结构与性能研究，杨兵，万强，系统研究了硅烷对AlTiSiN/CrSiN涂层结构和性能的影响。研究结果表明涂层为B1 NaCl 型结构，其中AlTiSiN和CrSiN形成交替层。随硅烷流量的增加 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
