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ESL和DFM论文和资料免费分享.pdf

上传者: 2020-07-19 07:55:00上传 PDF文件 1.79MB 热度 13次
工艺变化的相对幅度预计将显著增长 z制造业的局限性 如光刻 z基本原子尺度随机性 例如掺杂剂放置 z图:Leff:有效晶体管长度; W:线宽; H:钢丝嗨!
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