论文研究 轮廓表征和温度对微结构表面润湿性的影响

润湿是通过自然法则控制的无所不在的现象之一。 此外，在许多工业过程中，在非环境温度下，特别是在高温（30°C至90°C）下的表面润湿性非常重要。 在这项研究中，制造了具有各种结构的硅晶片以研究在不同温度下的润湿性。 设计和制造了具有微柱结构表面的三种形状。 通过光刻和ICP蚀刻来制造柱状结构的表面。 使用接触角测量来表征单相态液滴的温度依赖性润湿性。 观察到水滴的润湿行为。